1、紫外吸收池：紫外吸收池應(yīng)以不與臭氧起化學(xué)反應(yīng)的惰性材料制成，并具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性。吸收池的臭氧損失不能大于5%。光路長度為已知值的99.5%。

　　2、紫外燈：所產(chǎn)生的紫外光被檢測(cè)器接受的254nm的輻射至少占99。5%。

　　3、光度檢測(cè)器：紫外臭氧分析儀光度檢測(cè)器能滿足在254nm波長下測(cè)量的靈敏度要求。濃度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)偏差不超過0.001mg/m3(0℃,101.3kpa)或濃度的2%。

　　4、臭氧滌除器：空氣樣品經(jīng)過臭氧滌除器除支臭氧和干擾氣體以后，進(jìn)入吸收池，并由光度檢測(cè)器測(cè)出I0臭氧滌除器的平均壽命由生產(chǎn)廠家給出。然而實(shí)際壽命由采樣環(huán)境而定。當(dāng)臭氧滌除器對(duì)環(huán)境中的臭氧反應(yīng)明顯降低(線性檢驗(yàn)精度>1%)時(shí)，則應(yīng)更換臭氧滌除器。

　　5、采樣泵：紫外臭氧分析儀采樣泵安裝在氣路的末端，抽吸空氣流過臭氧分析儀，并能在儀器所需的流量和壓力條件下運(yùn)轉(zhuǎn)。

　　6、流量控制器：控制流過臭氧分析儀的空氣流量恒定在選定流量值的誤差±2%范圍以內(nèi)。